ESP微傳感器及系統(tǒng)的課題申請4項(xiàng)發(fā)明專利
來源： http://m.feta-virtual.com/ 類別：行業(yè)資訊 更新時(shí)間：2013-04-27 閱讀次
【本資訊由中國糧油儀器網(wǎng)提供】 近日，先進(jìn)制造領(lǐng)域863課題“汽車電子穩(wěn)定程序（ESP）微傳感器及系統(tǒng)”項(xiàng)目宣布取得成果，研發(fā)出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的汽車用ESP儀器系統(tǒng)。
據(jù)悉，課題組研究人員針對汽車電子應(yīng)用需求，對MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，開發(fā)出了基于體硅SOI和圓片級封裝工藝的低成本MEMS微陀螺和微加速度計(jì)芯片，攻克了數(shù)字化陀螺儀電路設(shè)計(jì)和加速度計(jì)ASIC電路設(shè)計(jì)技術(shù)和預(yù)成型空腔塑封封裝技術(shù)，研制出了自主知識產(chǎn)權(quán)的ESP用MEMS陀螺儀和加速度計(jì)產(chǎn)品。
據(jù)介紹，在研發(fā)過程中，課題組突破了6英寸MEMS傳感器芯片工藝技術(shù)。在傳感器芯片的制造過程中，采用了PCM監(jiān)控和SPC控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了微傳感器關(guān)鍵工藝參數(shù)的在線監(jiān)測，建立了微傳感器圓片在片自動(dòng)測試平臺，掌握了MEMS傳感器批量化制造技術(shù)，MEMS陀螺儀芯片加工成品率達(dá)到80%，MEMS加速度計(jì)芯片成品率達(dá)到90%。課題研制出的基于MEMS陀螺儀和加速度傳感器的汽車ESP系統(tǒng)，完成了硬件和算法的初步研究、ESP系統(tǒng)的匹配試驗(yàn)和搭載驗(yàn)證和ESP系統(tǒng)的路試和抗干擾試驗(yàn)。同時(shí)還通過實(shí)驗(yàn)，驗(yàn)證了MEMS傳感器的性能與可靠性，這兩項(xiàng)指標(biāo)滿足了ESP系統(tǒng)的要求。
據(jù)悉，截至目前，該課題已申請4項(xiàng)發(fā)明專利。
據(jù)悉，課題組研究人員針對汽車電子應(yīng)用需求，對MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，開發(fā)出了基于體硅SOI和圓片級封裝工藝的低成本MEMS微陀螺和微加速度計(jì)芯片，攻克了數(shù)字化陀螺儀電路設(shè)計(jì)和加速度計(jì)ASIC電路設(shè)計(jì)技術(shù)和預(yù)成型空腔塑封封裝技術(shù)，研制出了自主知識產(chǎn)權(quán)的ESP用MEMS陀螺儀和加速度計(jì)產(chǎn)品。
據(jù)介紹，在研發(fā)過程中，課題組突破了6英寸MEMS傳感器芯片工藝技術(shù)。在傳感器芯片的制造過程中，采用了PCM監(jiān)控和SPC控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了微傳感器關(guān)鍵工藝參數(shù)的在線監(jiān)測，建立了微傳感器圓片在片自動(dòng)測試平臺，掌握了MEMS傳感器批量化制造技術(shù)，MEMS陀螺儀芯片加工成品率達(dá)到80%，MEMS加速度計(jì)芯片成品率達(dá)到90%。課題研制出的基于MEMS陀螺儀和加速度傳感器的汽車ESP系統(tǒng)，完成了硬件和算法的初步研究、ESP系統(tǒng)的匹配試驗(yàn)和搭載驗(yàn)證和ESP系統(tǒng)的路試和抗干擾試驗(yàn)。同時(shí)還通過實(shí)驗(yàn)，驗(yàn)證了MEMS傳感器的性能與可靠性，這兩項(xiàng)指標(biāo)滿足了ESP系統(tǒng)的要求。
據(jù)悉，截至目前，該課題已申請4項(xiàng)發(fā)明專利。
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